[21p-S222-1~9] 金属酸化物薄膜の成膜装置

[21p-S222-9] 分子線エピタキシー法を用いた酸化物系ヘテロ構造の作製と物性

〇塚崎 敦^1,2 (1.東北大金研、2.JSTさきがけ)

キーワード：酸化物薄膜、分子線エピタキシー

近年の酸化物ヘテロ構造における物性研究では，狙いすました薄膜積層構造での物性開拓や特異な電子構造実現のための精密な超格子構造作製などがますます重要な研究ターゲットとなってきている。このような場合には，組成も決まっており，積層構造の設計にも指針が立っているため，目的の物性を発現させる上では，界面品質の向上や試料の高純度化が欠かせない。本講演では，酸化物積層構造の作製に向けた分子線エピタキシー法の活用について，酸素源や原料供給などの薄膜成長の観点に加えて，最近の物性の進展について紹介する。