[21p-S224-1~15] 3.3 Information photonics and image engineering

△ [21p-S224-13] Modulation characteristics of refractive index by ZnO-SLM based on optical control of dopant distribution

〇Shunsuke Nakashima¹, Naoya Tate¹, Tadashi Kawazoe², Wataru Nomura³, Motoichi Ohtsu^2,4 (1.Kyushu Univ., 2.NPEO, 3.Kyushu Univ. LP, 4.Univ. Tokyo)

Keywords:SLM,ZnO,refractive index modulation

我々は，独自のドーパント打ち込み条件およびアニール処理を用いて，透過型のZnOの空間光変調器を開発した．この変調器の動作原理の検証のため，デバイス表面への電流注入に対する光線シフト量を評価し，アニールの有無で比較した．アニールの結果として，屈折率分布の均質化と光線シフト量の増加を確認し，想定する動作原理を実証した．