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△ [21p-S224-13] ドーパント分布の光制御技術を活用したZnO空間光変調器による屈折率変調に関する検証
キーワード:空間光変調器、酸化亜鉛、屈折率変調
我々は,独自のドーパント打ち込み条件およびアニール処理を用いて,透過型のZnOの空間光変調器を開発した.この変調器の動作原理の検証のため,デバイス表面への電流注入に対する光線シフト量を評価し,アニールの有無で比較した.アニールの結果として,屈折率分布の均質化と光線シフト量の増加を確認し,想定する動作原理を実証した.