[21p-S224-1~15] 3.3 情報フォトニクス・画像工学

△ [21p-S224-13] ドーパント分布の光制御技術を活用したZnO空間光変調器による屈折率変調に関する検証

〇中島 俊亮¹、竪 直也¹、川添 忠²、野村 航³、大津 元一^2,4 (1.九大シス情、2.NPEO、3.九大LP分シ、4.東大工)

キーワード：空間光変調器、酸化亜鉛、屈折率変調

我々は，独自のドーパント打ち込み条件およびアニール処理を用いて，透過型のZnOの空間光変調器を開発した．この変調器の動作原理の検証のため，デバイス表面への電流注入に対する光線シフト量を評価し，アニールの有無で比較した．アニールの結果として，屈折率分布の均質化と光線シフト量の増加を確認し，想定する動作原理を実証した．