[21p-W541-1~12] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[21p-W541-2] スパッタ成膜したアルミナ系絶縁膜/AlGaN界面のTEM観察

〇野崎 幹人¹、淺原 亮平¹、伊藤 丈予¹、渡邉 健太¹、山田 高寛¹、中澤 敏志²、按田 義治²、石田 昌宏²、上田 哲三²、細井 卓治¹、志村 考功¹、渡部 平司¹ (1.阪大院工、2.パナソニック)

キーワード：窒化ガリウム、TEM