[22a-H116-1~6] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[22a-H116-1] サファイア基板の化学処理がZnTe薄膜のドメイン構造形成に与える効果

〇中須 大蔵¹、木津 健¹、服部 翔太¹、橋本 勇輝¹、孫 惟哲¹、風見 蕗乃¹、王 兢¹、小高 圭佑¹、玉川 陽菜¹、山本 洋輔¹、小林 正和^1,2、朝日 聡明³ (1.早大先進理工、2.早大材研、3.JX金属)

キーワード：ZnTe、サファイア、極点図

ZnTeを用いたテラヘルツ波検出素子応用に向け、サファイア基板/ZnTe薄膜構造に注目している。成長前の基板洗浄の過程に注目し、表面の化学状態を変化させたサファイア基板を用いることでサファイア基板上ZnTe薄膜の結晶性の改善を試みた。結晶性評価には極点図やロッキングカーブ測定を使いZnTeの方位や結晶性を詳細に評価した。ZnTe 111極点図測定により表面の化学状態の制御でサファイア/ZnTeに影響を与えている可能性が明らかになった。