[22a-H116-1~6] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[22a-H116-3] フッ酸系エッチャントによるZnTeのメサエッチングとZnMgTe/ZnTe光導波路のリッジ化

〇風見 蕗乃¹、孫 惟哲¹、王 兢¹、中須 大蔵¹、服部 翔太¹、木津 健¹、橋本 勇輝¹、玉川 陽菜¹、小高 圭佑¹、山本 洋輔¹、小林 正和^1,2、朝日 聡明³ (1.早大先進理工、2.早大材研、3.JX金属)

キーワード：テルル化亜鉛、エッチング、導波路