[22a-H121-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-H121-4] AlN成長のための空気中アニールによるc面サファイアの原子ステップ形成

〇玉置 真哉¹、鈴木 周平¹、三宅 秀人^1,2、平松 和政¹ (1.三重大・院工、2.三重大・地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム、サファイア基板