[22a-P5-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P5-18] キレートフレーム法で合成したY₂O₃膜とEr₂O₃膜の断面観察

〇淡 焱鑫¹、中村 淳^1,2、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：キレートフレーム法、Y2O3膜、Er2O3膜

キレートフレーム法とは、エチレンジアミン四酢酸にYとErを担持させた金属錯体を出発原料とし、フレーム溶射装置を用いて、フレーム中での熱分解・酸化反応及び溶融粒子の急速急冷のプロセスによって、基板上に酸化物膜の合成を行う手法である 。本研究では、本法によりY₂O₃膜とEr₂O₃膜を作製し、それぞれの膜の断面を走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて観察し、膜に発生する縦方向の亀裂を観察する。