[22a-P5-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P5-5] MoSi2-Si複合体薄膜の電気伝導機構

〇下薗 宏祐¹、木谷 遼介¹、佐藤 祐喜¹、吉門 進三¹ (1.同志社大理工)

キーワード：シリサイド、伝導機構