[22a-P6-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-P6-12] MOSトランジスタ及び発光素子の一貫形成に向けたSi / SiO₂ / GaN / Sapphire 構造の熱耐性に関する調査

〇(M1C)宇都宮 脩¹、立原 佳樹¹、土山 和晃¹、山根 啓輔¹、関口 寛人¹、岡田 浩^2,1、若原 昭浩¹ (1.豊技大工、2.EIIRIS)

キーワード：光電子集積回路