[22a-P6-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-P6-17] 反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN膜の構造変化と密着性

〇野間 正男¹、山下 満²、江利口 浩二³、長谷川 繁彦⁴ (1.神港精機株式会社、2.兵庫県立工業技術センター、3.京大院工、4.阪大産研)

キーワード：窒化ホウ素、密着性、反応性プラズマ支援成膜法

反応性プラズマ支援成膜法(RePAC)を用いた密着性の良好なBN膜の表面は、sp²とsp³結合状態が混在するBNナノクラスター構造からなり、その混合比はAr/N₂ガス流量比(R_AN)と基板バイアス電圧(V_sub)により制御できる。一方我々は、RePACにて(R_AN, V_sub)を広範囲で変化させると、BN膜表面にクラックが生じることを観測した。本講演では、特定の(R_AN, V_sub)により成膜したBN膜表面でのクラックの生成機構について報告する。