[22a-P6-1~19] 15.4 III-V-group nitride crystals

[22a-P6-17] Phase change and adhesion property of BN films prepared by Reactive Plasma-Assisted Coating (RePAC)

〇Masao Noma¹, Michiru Yamashita², Koji Eriguchi³, Shigehiko Hasegawa⁴ (1.SHINKO SEIKI. Co., LTD., 2.Hyogo Prefectural Institute of Technolog, 3.Kyoto Univ., 4.Osaka Univ.)

Keywords:boron nitride,adhesion property,Reactive Plasma-Assisted Coating

反応性プラズマ支援成膜法(RePAC)を用いた密着性の良好なBN膜の表面は、sp²とsp³結合状態が混在するBNナノクラスター構造からなり、その混合比はAr/N₂ガス流量比(R_AN)と基板バイアス電圧(V_sub)により制御できる。一方我々は、RePACにて(R_AN, V_sub)を広範囲で変化させると、BN膜表面にクラックが生じることを観測した。本講演では、特定の(R_AN, V_sub)により成膜したBN膜表面でのクラックの生成機構について報告する。