[22a-P6-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-P6-7] GaN-MOVPE両極性同時成長における原料拡散に関する検討

〇大隅 紀之¹、八木 裕隆¹、久瀬 健太¹、井上 翼¹、中野 貴之¹ (1.静岡大院)

キーワード：MOVPE、極性、選択成長