[22a-S222-1~8] 21.1 Joint Session K

[22a-S222-5] Composition ratio dependency of crystal structure and thin-film properties for IGZO

〇Ryo Yamauchi¹, Masashi Oota¹, Yoshinori Yamada¹, Yoshimi Ishiguro¹, Shunpei Yamazaki¹ (1.SEL)

Keywords:IGZO,CAAC,layered structure

In-Ga-Zn Oxide (IGZO)について、我々はCAAC と呼ばれるc軸配向性を有する特徴的な構造を発見した。IGZOはInGaO3(ZnO)m (m=整数)の組成ではIn-O層と(Ga,Zn)-O層による層状構造をとる。本研究では(InGaO3)n(ZnO)mとなる組成の結晶構造を調査し、CAAC-IGZO薄膜を含むIGZO試料はm/nが非整数の場合でも層状構造をとることを発見した。