2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[22a-W321-1~16] 16.3 シリコン系太陽電池

2016年3月22日(火) 09:00 〜 13:15 W321 (西2・3号館)

高橋 勲(名大)、高濱 豪(パナソニック)

11:00 〜 11:15

[22a-W321-8] ガス加熱トライオードプラズマCVD法による低温成長a-Si:Hの高品質化

〇新倉 ちさと1、Sichanugrist Porponth2、宮島 晋介3、市川 幸美2、小長井 誠2,4 (1.物質･材料研究機構、2.科学技術振興機構、3.東工大院理工、4.都市大総研)

キーワード：薄膜Si、薄膜成長プロセス、太陽電池