[22a-W331-1~12] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[22a-W331-11] 変調アドミタンス法によるヘテロ接合の評価

〇岩崎 真宝¹、大江 和顕¹、酒井 作周¹、清水 耕作¹ (1.日大生産工)

キーワード：ヘテロ接合、界面