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[22a-W531-3] 有機無機ハイブリッド積層膜のコンビナトリアル分子層エピタキシー
システムとハライドペロブスカイト材料開発への応用
キーワード:ペロブスカイト太陽電池、コンビナトリアル技術、有機無機ハイブリッド材料
我々は既に高温超電導化合物を始めとするペロブスカイト酸化物を単位格子レベルで制御する分子線エピタキシー装置を開発した。この知見を赤外レーザーによる有機薄膜用装置に拡張し、堆積位置と膜成長速度を制御する可動マスクと組み合わせたコンビナトリアルナノ材料研究システムの開発に取り組んだ。多成分系であり結晶安定化など多くの最適化因子を有するペロブスカイト太陽電池開発用に試作した装置の概要と成果を報告する。