[22a-W611-1~14] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[22a-W611-11] ステンレスのクロムによる酸化層の生成におけるオゾンの影響

〇田口 貢士¹、松本 将大¹、安達 穣¹、登尾 一幸¹ (1.魁半導体)

キーワード：ステンレス、オゾン、クロム