[22a-W611-1~14] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [22a-W611-4] イオンビームスパッタリングによるNaCl膜の形成

〇山野 将史¹、針谷 達¹、宮本 優¹、今井 貴大¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男²、瀧 真³、長谷川 裕史³、辻 信広³、西内 満美子⁴、榊 泰直⁴、近藤 公伯⁴ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学、3.オンワード技研、4.原子力機構)

キーワード：イオンビームスパッタリング