[22a-W611-1~14] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[22a-W611-8] 大気圧低温プラズマを用いたレジストの除去

高井 智基¹、〇山本 雅史¹、鹿間 共一¹、長岡 史郎¹、西山 聖²、堀邊 英夫² (1.香川高専、2.大阪市大)

キーワード：レジスト除去、大気圧低温プラズマ、環境にやさしい

レジストの除去には一般に有害な薬品が用いられており、環境負荷や基板洗浄・浄化設備が必要などの問題がある。そこで、酸素プラズマによる除去が行われているが、これは真空容器内で処理するものである。基板の大型化に対応するためには容器の大型化が必須であり、装置の大型化やランニングコストの増加を招く。我々は装置構成が簡便で大面積化が容易な大気圧低温プラズマを用いたレジストの除去について検討した。