[22p-H103-1~8] 6.4 薄膜新材料

[22p-H103-7] 全ALD構成水蒸気ハイバリア膜 ～膜構成とバリア性の関係～

〇座間 秀昭¹、本田 和広¹ (1.アルバック超材研)

キーワード：原子層堆積法、水蒸気バリア膜、水蒸気透過度