16:45 〜 17:00 [6p-C19-7] 微細3次元デバイスに対応した10nm以下特定位置STEM分析のためのFIB加工技術 〇渡辺 圭1、志摩 会実佳1、福嶌 豊1 (1.東芝ナノアナリシス)