10:45 〜 11:00 [6a-A503-7] シリコン結晶成長の点欠陥の発生と消滅に関する一考察(1):引き上げ速度と温度勾配の関係 〇阿部 孝夫1、高橋 徹1、白井 光雲2 (1.信越半導体 磯部研、2.阪大 産研)
11:00 〜 11:15 [6a-A503-8] シリコン結晶成長の点欠陥の発生と消滅に関する一考察(2):格子間原子の発生機構 〇阿部 孝夫1、高橋 徹1、白井 光雲2 (1.信越半導体、2.阪大 産研)