2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

樋口 真里

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発表者・著者、共著者

2017年9月6日(水) 09:00 〜 12:00 A301 (メインホール)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 15 結晶工学
  • | 15.4 III-V族窒化物結晶

[6a-A301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

11:00 〜 11:15

△ [6a-A301-8] エッチピットを用いた HVPE-AlN 基板の貫通転位評価

〇樋口 真里1、三井 太朗1、永島 徹2、山本 玲緒1,2、小西 敬太1、Galia Pozina3、Rafael Dalmau4、Raoul Schlesser4、Ramón Collazo5、Bo Monemar3,6、Zlatko Sitar5、熊谷 義直1,6 (1.東京農工大院工、2.トクヤマ、3.リンチョーピン大、4.HexaTech, Inc.、5.ノースカロライナ州立大、6.東京農工大 GIR)