10:15 〜 10:30 [6a-C17-4] RBSによるMgイオン注入GaN結晶のダメージ評価 〇新宮 一恵1、高橋 和照1、Tseng Daniel2、中村 徹3、池田 清治3、西村 智朗3、三島 友義3 (1.ナノサイエンス、2.EAG、3.法政大)