10:00 〜 10:15 △ [6a-A503-5] 分子クラスターイオン注入エピウェーハの製品特性(4)-3次元アトムプローブによる重金属ゲッタリングメカニズムの解析- 〇重松 理史1、奥山 亮輔1、廣瀬 諒1、柾田 亜由美1、門野 武1、古賀 祥泰1、奥田 秀彦1、栗田 一成1 (1.SUMCO)