15:15 〜 15:30 [5p-A301-7] 立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの形状制御 〇(M2)黒岩 宏紀1、濱田 拓也1、高橋 言緒2、井出 利英2、清水 三聡2、星井 拓也1、角嶋 邦之1、若林 整1、岩井 洋1、筒井 一生1 (1.東工大、2.産総研)