12:15 〜 12:30 [7a-C21-13] 清浄および水素終端化Si(001)表面上に形成した極薄非晶質Si層の中エネルギーIBIECによる再結晶化レートと界面水素量依存性 〇谷地田 剛介1、井上 航大1、星野 靖1、中田 穣治1 (1.神奈川大院理)