16:45 〜 17:00 [5p-C17-12] DLTS法を用いたLP-CVD SiO2/GaNの界面準位評価 〇上田 博之1、森 朋彦1、樹神 雅人1、長里 喜隆2、富田 英幹2、加藤 孝三2 (1.豊田中研、2.トヨタ自動車)