14:30 〜 14:45 △ [5p-S42-5] フォトダイオード直接塗布法によるEUVレジストの高精度な吸収係数測定法 〇(M1)新原 章汰1、豆﨑 大輝1、渡辺 雅紀1、原田 哲男1、渡邊 健夫1 (1.兵庫県立大学)