14:30 〜 14:45
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、野沢 善幸3、速水 利泰3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)
田中 宏幸
発表者・著者、共著者
2017年9月6日(水) 13:45 〜 19:00 C21 (C21)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年9月6日(水) 13:45 〜 19:00 C21 (C21)
14:30 〜 14:45
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、野沢 善幸3、速水 利泰3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)