13:30 〜 15:30 [5p-PA1-63] 吸引型プラズマによるWSe2の単層エッチング 〇宮脇 淳1、久保 利隆1、清水 哲夫1、新堀 俊一郎2、高橋 賢2、遠藤 和弘3、安藤 淳1 (1.産総研、2.三友製作所、3.金沢工大)