14:00 〜 14:15 [7p-C23-2] ALDで形成した薄膜InOx高移動度TFT 〇木津 たきお1、相川 慎也1,2、池田 幸弘3、上野 啓司3、生田目 俊秀1、塚越 一仁1 (1.物材機構、2.工学院大、3.埼玉大院理工)