Christopher Stephen Musgrave

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発表者・著者、共著者

2017年9月5日(火) 09:00 〜 12:00 S44 (第5会議室)

一般セッション(口頭講演)
| CS コードシェアセッション
| 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

[5a-S44-1~11] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

11:45 〜 12:00

▲ [5a-S44-11] Gallium-tin alloy as an alternative to liquid tin for the generation of efficient 13.5 nm EUV light

〇(P)Christopher Stephen Musgrave¹、Nan Lu¹、Rie Sato¹、Keiji Nagai¹ (1.Tokyo Tech)