09:30 〜 09:45 [5a-C17-1] 窒素添加β-Ga2O3 (010) 薄膜のオゾンMBE成膜と特性評価 〇上村 崇史1、中田 義昭1、倉又 朗人2、山腰 茂伸2、東脇 正高1 (1.情通機構、2.タムラ製作所)