13:45 〜 14:00 △ [5p-A301-2] MOVPE法による低抵抗GaNトンネル接合 〇(M1)不破 綾太1、赤塚 泰斗1、竹内 哲也1、岩谷 素顕1、上山 智1、赤崎 勇1,2 (1.名城大・理工、2.名古屋大・赤崎記念研究センター)