09:30 〜 09:45 [6a-A503-3] 分子クラスターイオン注入エピウェーハの製品特性(2)ー 常温接合エピウェーハの重金属ゲッタリング特性 ― 〇古賀 祥泰1、門野 武1、奥山 亮輔1、重松 理史1、廣瀬 諒1、柾田 亜由美1、奥田 秀彦1、栗田 一成1 (1.株式会社SUMCO)