10:15 〜 10:30 △ [6a-A503-6] 分子クラスターイオン注入エピウェーハの製品特性(5)-新規多元素・分子クラスターイオン注入技術開発- 〇廣瀬 諒1、奥山 亮輔1、門野 武1、柾田 亜由美1、重松 理史1、古賀 祥泰1、奥田 秀彦1、栗田 一成1、宮本 直樹2 (1.株式会社SUMCO、2.日新イオン機器株式会社)