10:30 〜 10:45 [6a-C17-5] TEM観察によるMgイオン注入GaN結晶の結晶性評価 〇高橋 和照1、新宮 一恵1、Sharma Udit2、中村 徹3、池田 清治3、西村 智朗3、三島 友義3 (1.ナノサイエンス㈱、2.EAG, Inc.、3.法政大)