16:00 〜 16:15 [6p-C17-9] 不純物添加スパッタリング法による高移動度・ナノ結晶フリー a-In2O3:Sn薄膜の作製 〇板垣 奈穂1、山下 大輔1、徐 鉉雄1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九大シス情)