09:00 〜 09:15 [7a-A201-1] ClF3ガスによるSiCエピリアクタークリーニングのためのサセプタ被膜耐腐食性調査 塩田 耕平1、〇川崎 稜平1、羽深 等1、伊藤 英樹2、三谷 真一2、高橋 至直3 (1.横国大院工、2.ニューフレアテクノロジー、3.関東電化工業)