09:45 〜 10:00 [7a-A201-4] 炭化珪素エッチング装置における三フッ化塩素ガス供給設計 〇倉島 圭祐1、奥山 将吾1、羽深 等1、高橋 至直2、加藤 智久3 (1.横国大院工、2.関東電化、3.産総研)