10:00 〜 10:15 △ [7a-A412-2] 熱フィラメントCVD法で合成した低抵抗ダイヤモンド自立基板評価 〇大曲 新矢1、山田 英明1、梅沢 仁1、坪内 信輝1、茶谷原 昭義1、杢野 由明1 (1.産総研)