16:15 〜 16:30 [7p-A301-12] InGaN/GaN規則配列ナノコラムLEDに向けたAlN埋め込み絶縁膜の形成 〇河向 渉1、松井 祐三1、野村 一郎1、岸野 克巳1 (1.上智大理工)