18:00 〜 18:15 [7p-A301-18] オゾン水酸化を用いたデジタルウェットエッチングによるInGaN/GaNナノ構造のサイズ制御 〇小川 航平1、石嶋 駿1、生江 祐介1、松岡 明裕1、大江 優輝1、川崎 祐生1、菊池 昭彦1,2 (1.上智大理工、2.上智大ナノテクセンター)