14:00 〜 14:15 [7p-A402-4] フルオロカーボンプラズマとアルゴンプラズマによるSiO2原子層エッチングの分子動力学シミュレーション 〇(M2)岡田 裕貴1、磯部 倫郎1、浜口 智志1 (1.阪大工)