14:45 〜 15:00 [7p-C17-5] ミストCVD法による塩化物原料を用いたGaNテンプレート上へのε-Ga2O3薄膜成長 〇(M1)森本 尚太1、田原 大祐1、宮内 信宇1、西中 浩之1、吉本 昌広1 (1.京工繊大)