09:30 〜 11:30 [8a-PA1-16] 二元同時スパッタを用いたSi含有DLC膜の成膜 〇(M1)三輪 侑生1、太田 貴之1、小田 昭紀2、上坂 裕之3 (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)