09:30 〜 11:30 [8a-PA2-5] 高周波マグネトロンスパッタで成膜したMoSi2-Si複合体薄膜の電気的特性と結晶構造 〇谷本 峻吾1、下薗 宏祐1、佐藤 祐喜1、大鉢 忠1、吉門 進三1 (1.同志社大院理工)