09:30 〜 11:30 [8a-PA3-19] ポリシルセスキオキサンゲート絶縁膜の紫外線重合用低分子架橋剤の検討 〇(M2)岡田 秀一1、中原 佳夫1、宇野 和行1、田中 一郎1 (1.和歌山大システム工)